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指 标 |
Alicat层流差压式原理 |
典型热式原理 |
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传感器 |
固态硅基差压传感器 |
RTD或热电偶 |
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流量范围 |
满量程从0.5SCCM到1500SLPM |
满量程从3SCCM到1000SLPM |
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响应时间 |
10毫秒（控制器100 毫秒） |
0.3-3.0秒 |
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显示屏 |
标准，内置 |
可选项，外部装配 |
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预热时间 |
＜1秒 |
8-30分钟 |
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累计流量 |
可选项，内置 |
可选项，外部装配 |
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过程数据 |
内置显示屏显示质量流量、体积流量、在线温度和在线绝对压力 |
质量流量 |
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输出选项 |
标准内置显示屏，模拟信号（0-5VDC,0-10VDC,1-5VDC或4-20mA）和标准RS232接口；
可采用第二路模拟输出体积流量、温度或绝对压力 |
标准模拟输出，可选显示屏，可选数字输出 |
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数字输出 |
标准输出包括质量流量、体积流量、在线温度、在线绝对压力、测量气体；可选累计流量；标准Multi-ｄrop RS232接口 |
可选质量流量数字输出；无Multi-drop选项 |
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供应电源 |
7-30VDC,35mA的标准AC/DC转换电源；
可使用一个标准的9V电池包供电 |
特殊供应电源，正和负的稳定15VDC |
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过程连接 |
标准的NPT或小巧的气动配件，可选SAE,BSPP等接头 |
特制Swagelok?、VCR等 |
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多种气体测量性 |
可从内置菜单选择30种标准气体 |
单一气体，需指定 |
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固有线性 |
有 |
无 |
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文件 |
内置显示屏显示型号数、连续号数、制造日期、校验技术员和软件版本、型号/连续号，签条也同样为标准的 |
产品的贴纸上 |
ALICAT差压原理和热式原理的对照表
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热式气体质量流量控制器/流量计（以下称MFC/MFM）通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性，重复性好，高精度，无需预热，温漂小等特点；可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量，但是热式原理产品具有先天性的缺陷：长期加热的工作模式产生的热漂移，反应速度慢等缺点是不可避免的。而采用差压原理的几乎无零点和温度漂移，反应速度快，无需预热，上电即可操作，解决了长期困扰客户的问题。目前，一些领先的热式流量计厂家正在纷纷开发差压式质量流量计。
